表面清浄度(SCPクラス)とは

規格

クリーンルーム関連規格ISO14644-9(粒子濃度による表面清浄度の分類)
クリーンルーム等の設計・管理には、表面清浄度の分類と気中粒子数などを加えてより多くの要因を考慮する事が望ましい。



ダスカーの適合粒径

ダスカー商品別適合粒径
ダスカー100、ダスカー100BLACK
適合粒径 ≧100μm


【参考】SCPクラスと最大累積許容全面濃度
SCPクラス 粒径
≧0.05μm ≧0.1μm ≧0.5μm ≧1μm ≧5μm ≧10μm ≧50μm ≧100μm ≧500μm
クラス1 (200) 100 20 (10)
クラス2 (2,000) 1,000 200 100 (20) (10)
クラス3 (20,000) 10,000 2,000 1,000 (200) (100)
クラス4 (200,000) 100,000 20,000 10,000 2,000 1,000 (200) (100)
クラス5 1,000,000 200,000 100,000 20,000 10,000 2,000 1,000 (200)
クラス6 (10,000,000) 2,000,000 1,000,000 200,000 100,000 20,000 10,000 2,000
クラス7 10,000,000 2,000,000 1,000,000 200,000 100,000 20,000
クラス8 10,000,000 2,000,000 1,000,000 200,000
単位:個(1㎡あたりの粒子数)


参考文献
  • ISO14644-9:2012「クリーンルーム及び関連制御環境 第9部」
                                      

このページの先頭へ